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        數字式質量流量控制器-橡膠密封

        VIC-D200系列數字式MFC,產品同時支持傳統模擬量和RS485數字信號,滿足大部分氣體控制的通用需求,氣體通路為不銹鋼材質,適用于所有氣體或高壓環境。

        特點

        全測量區間內響應速度≤1秒

        Teflon密封,對有毒及腐蝕性氣體耐久性強

        沒有DISK變形,半永久使用保障

        適用浪涌和過電壓的內部電路設計

        維持準確度,溫度變化不敏感

        技術規格

        型號VIC-D210VIC-D220
        VIC-D230
        VIC-D240
        VIC-D245
        流量范圍(N2基準)5sccm ~ 1.5slm1.5slm~50slm50slm~100slm
        100slm~200slm
        200slm~400slm
        流量控制范圍
        2 ~ 100%滿量程
        精度≤1%滿量程
        響應速度≤1秒(10~100%滿量程)≤1.2秒
        重復性
        ≤0.2%滿量程
        閥門類型常閉閥
        密封種類Vtion,Vtion-ETP,Kalrez等等
        電氣連接及信號9針D-Sub公頭
        模擬:0-5VDC或4-20mA
        數字:RS485
        電源+15VDC~+24VDC
        操作溫度操作溫度:5-50℃(推薦15~35℃)
        預熱時間15分鐘(準確度保證:30分鐘)
        法蘭連接1/8"~1/2"LOK或VCR(根據型號)
        重量0.95Kg0.97Kg1.33Kg1.87Kg3.3Kg

        產品尺寸


        流量壓力事項


        質量流量控制器訂購參數確認單

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