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        成都四洋科技有限公司官方網站

        磁懸浮復合分子泵

        Osaka復合分子泵使用磁懸浮軸承實現無油的排氣,而且維護周期長。提供排氣速度300L/s~3400L/s的產品。

        特點

        全方位安裝
        輕巧設計
        節能
        分子泵停止與啟動時間短
        附帶維護警報機能
        低振動
        無需調整
        自動校準
        可控制轉子旋轉速度
        大流量排氣
        多種通信模式
        符合安全規格 NRTL/SEMI-S2/CE

        應用

        半導體制造

        電子槍排氣,離子源排氣

        FPD制造

        表面處理,表面改質

        各種電子部件的制造

        分析,試驗裝置

        管球制造,光學部件制造

        加速器,放射線設施,核聚變研究

        熱處理

        研究開發

        技術規格

        型號

        TG390M

        TG420M

        TG900M

        TG1300M

        TG2400M

        法蘭

        吸氣口ISO-R/CF

        100

        160

        160

        200

        250

        排氣口

        KF25

        KF25

        KF40

        KF40

        KF40

        排氣速度

        N2(附加金屬過濾網)

        320L/s

        370L/s

        860L/s

        1230L/s

        2300L/s

        H2

        290L/s

        300L/s

        1050L/s

        1200L/s

        1100L/s

        最大壓縮比

        N2

        1×108

        1×108

        1×108

        1×108

        1×108

        H2

        4.3×103

        4.5×103

        1.5×104

        1.5×104

        1.5×103

        極限壓力

        ISO-R/CF

        <1×10-6Pa/<1×10-7Pa

        <1×10-6Pa/<1×10-7Pa

        <1×10-6Pa/<1×10-7Pa

        <1×10-6Pa/<1×10-7Pa

        <1×10-6Pa

        最大氣體流量

        N2(sccm)

        2000

        2000

        3000

        3000

        3000

        推薦輔助泵

        ≥160L/min

        ≥160L/min

        ≥250L/min

        ≥250L/min

        ≥500L/min

        容許輔助壓力

        400Pa

        400Pa

        500Pa

        500Pa

        200Pa

        重量Kg

        ISO-R/CF

        14/17

        14/17

        34/42

        34/42

        45/54

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