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        成都四洋科技有限公司官方網站

        渦輪分子泵

        Osaka渦輪分子泵使用了脂潤滑陶瓷軸承,實現了小型、輕量、低成本。 耐外部震動,耐沖擊能力強,可以把分子泵搭載到可搬式設備或設備的可動部,拓展了渦輪分子泵的新應用。提供排氣速度50L/s ~ 2400L/s的產品。

        特點

        無油的超真空環境

        機械式的氣體分子排氣(動態排氣),對所有的氣體的排氣速度大致相同

        可排稀有氣體和腐蝕性氣體

        可連續排大流量氣體

        可工作的壓力范圍寬。(~10-10Pa)

        應用

        半導體制造

        電子槍排氣,離子源排氣

        FPD制造

        表面處理,表面改質

        各種電子部件的制造

        分析,試驗裝置

        管球制造,光學部件制造

        加速器,放射線設施,核聚變研究

        熱處理

        研究開發

        技術規格

        型號

        TG50F

        TG60F

        TG70F

        TG220F

        TG240F

        TG350F

        TG450F

        TG800F

        TG1100F

        TG1400F

        TG2400

        法蘭

        吸氣口ISO-R/CF

        63

        KF40/63

        63

        100

        100

        100

        160

        160

        200

        200

        250

        排氣口

        KF16

        KF16

        KF16

        KF25

        KF25

        KF25

        KF25

        KF40

        KF40

        KF40

        KF40

        排氣速度

        N2(附加金屬過濾網)

        49L/s

        55L/s

        65L/s

        210L/s

        240L/s

        310L/s

        430L/s

        750L/s

        1000L/s

        1300L/s

        2300L/s

        H2

        12L/s

        22L/s

        40L/s

        100L/s

        160L/s

        210L/s

        240L/s

        650L/s

        720L/s

        750L/s

        1100L/s

        最大壓縮比

        N2

        1.4×107

        2×107

        1×108

        1×108

        1×108

        1×108

        1×108

        1×108

        1×108

        1×108

        1×108

        H2

        5×102

        2×103

        1×105

        4×102

        4×104

        2×103

        2×103

        1×104

        1×104

        4.3×103

        1.4×103

        極限壓力

        ISO-R/CF

        <3×10-6Pa

        <5×10-6Pa/<1×10-6Pa

        <5×10-7Pa/<1×10-7Pa

        <1×10-6Pa

        <1×10-6Pa/<5×10-7Pa

        <1×10-6Pa

        <1×10-6Pa

        <1×10-6Pa

        <1×10-6Pa

        <1×10-6Pa

        <1×10-6Pa

        最大氣體流量

        N2(sccm)

        80

        20

        20

        400

        70

        500

        500

        330/860

        330/860

        450

        900/1500

        推薦輔助泵

        ≥50L/min

        ≥25L/min

        ≥25L/min

        ≥80L/min

        ≥80L/min

        ≥80L/min

        ≥80L/min

        ≥250L/min

        ≥250L/min

        ≥250L/min

        ≥500L/min

        容許輔助壓力

        1330Pa

        800Pa

        1200Pa

        260Pa

        700Pa

        260Pa

        260Pa

        330Pa

        330Pa

        330Pa

        200Pa

        重量Kg

        ISO-R/CF

        4.2/6

        3.4/5.4

        3/5

        5.5/8

        7.3/10.5

        6/9

        7/10

        27/26

        28/27

        29/30

        45/47

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