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        成都四洋科技有限公司官方網站

        殘余氣體分析儀

        XT系列

        Extorr是一家專業研究及生產殘余氣體分析儀(RGA)的公司,擁有XT系列殘余氣體分析儀,原理是四極質譜儀,RGA內置電阻規和離子計。是一種重要的測量設備,可用于任何真空系統。Extorr XT殘留氣體分析儀(RGA)有1-100amu,1-200amu和1-300amu質量數范圍。RGA配置一個標準的CF2.75英寸法蘭。每個功能都具有自動啟動和關閉,并將不斷監測從大氣壓至超高真空。內置的皮拉尼壓力計和離子壓力計不斷監測總壓力,并調節和保護RGA。這些功能被無縫地集成到Extorr VacuumPlus軟件包中。

        特點

        內置皮拉尼壓力計和離子壓力計的殘余氣體分析儀
        1-100、1-200和1-300 amu質量數范圍可選
        標準法拉第探測器(FC)與可選的電子倍增器(EM)
        實時Windows軟件能夠進行多臺RGA同時操作
        現場可更換兩根敷釷的銥絲
        優于1 amu分辨率
        8個數量級的動態范圍在一次掃描
        質譜,泄漏檢測和壓力隨時間的變化
        內建診斷,容易升級的軟件和固件
        完全可插入的探頭

        應用

        泄漏測試

        等離子體特性

        基準壓力監測

        表面科學

        真空工藝監控

        真空技術教育

        真空爐監控

        材料制造

        電子顯微鏡

        材料分析

        RGA技術規格

        質量數范圍
        XT100
        1-100 amu 法拉第杯 (FC)
        XT200
        1-200 amu 法拉第杯 (FC)
        XT300
        1-300 amu 法拉第杯 (FC)
        XT100M
        1-100 amu 法拉第杯 (FC)和電子倍增器 (EM)
        XT200M
        1-200 amu 法拉第杯 (FC)和電子倍增器 (EM)
        XT300M
        1-300 amu 法拉第杯 (FC)和電子倍增器 (EM)
        類型
        四極質譜儀
        探測器類型
        標準:法拉第杯 (FC)
        可選:電子倍增器 (EM)
        分辨率
        大于0.5 amu@10%峰值高度??稍谡麄€質量范圍內調節至恒定的峰值寬度。
        靈敏度(A/Torr)
        5×10-4Torr(FC)。用戶可在整個高壓范圍內調節。用N2@28 amu測量,全峰寬1 amu,高度10%,電子能70 ev,離子能6 ev,電子發射電流2 mA。
        最小可檢測分壓
        5 × 10–11 Torr (FC)
         5 × 10–14 Torr (EM)
        工作范圍
        RGA:≤10–4 Torr
        皮拉尼計:10–3 Torr至大氣壓
        離子計:≤10-2Torr
        工作溫度
        電路部分:50℃
        探頭:100℃
        烘烤溫度
        300℃(僅探頭,移除電路部分)
        總壓強測量
        皮拉尼計:10-3 Torr 至大氣壓,
        離子計:2 x 10-10 Torr至10-2 Torr
        離子源
        設計
        開放離子源,電子撞擊電離
        材質
        SS304、Kovar、鎢、氧化鋁、銥、銅、鎳、氧化釷、白金
        燈絲
        雙釷涂層銥燈絲,帶固件保護。內置1到30W的電子脫氣裝置(可現場可更換)
        電子能量
        11至150V,可編程的
        離子能量
        1至12V,可編程的
        聚焦電壓
        0至150V,可編程的
        發射電流
        0.1至4 mA,可編程的
        其他參數
        探頭長度
        172.72mm,從法蘭到頂端
        法蘭
        CF40(2.75”)
        探頭最小管內徑
        35mm
        電路部分體積
        84 x 122 x 188mm, 可拆卸
        預熱時間
        30分鐘質量穩定性±0.1 amu
        計算機接口
        RS-232C, 至高115,200波特率,或USB.
        最低PC要求
        PC運行Windows 2000, XP, 7,8或10系統,1024 x 768VGA圖形顯示器,鍵盤,鼠標,光盤驅動器,和一個未使用的USB或RS-232C端口。
        軟件
        隨機附帶VacuumPlus窗口軟件,基于應用程序需要Windows 2000,XP,7,8,10系統
        電源
        24 VDC @ 2.5 Amps,120/240 VAC電源適配器.
        重量
        2.27Kg(探頭及電路部分)
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