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        成都四洋科技有限公司官方網站

        PRA、WRA殘余氣體分析儀

        Edwards  RGA包括兩種類型: PRA和WRA,都具有簡單和高效的操作性,確保高性能和效率。

        Edwards PRA提供了高性能分析和遠程監控模式。PRA有四種分類可供選擇,以滿足您的過程需求,無論只是需要一個基本RGA還是更敏感/范圍更廣的RGA,PRA系列都是分析過程的基本選擇。

        Edwards WRA 是RGA的頂級產品,具有市場領先的設計與專利。有兩種型號1-200或1-300 amu,可以測量工藝流程的各種氣體以及產生的副產品。與PRA相比,具有更高的靈敏度,從而使測量更精確。

        所有的RGA都配備了專用的,易于使用的軟件,從筆記本電腦就可實時跟蹤工藝過程,多達16個不同單位的詳細分析。RGA本體上有一個面板顯示,可以顯示主要氣體類型和系統的整體壓力,而不必通過筆記本電腦連接或遠程通訊讀取。

        特點

        總壓力測量

        雙燈絲

        面板單元顯示

        易于更換零件

        除氣功能

        離子源和EM多重保護

        應用

        PRA

        高真空抽真空設備的殘余氣體分析

        研發過程中的氣體分析

        冷凍干燥中的氣體分析

        PV/FPD/Semi氣體分析

        WRA

        UHV設備的殘余氣體分析

        有機材料分析

        環境分析

        氣體雜質

        技術規格

        型號

        PRA100

        PRA100S

        PRA200

        PRA200S

        WRA200S

        WRA300S

        質量數范圍

        1-100amu

        1-200amu

        1-300amu

        質譜儀類型

        QMS

        探測器類型

        FC

        FC/EM

        FC

        FC/EM

        FC/EM

        FC/EM

        靈敏度A/mbar

        1x10-5

        400/1x10-5

        1x10-5

        400/1x10-5

        400/2.5x10-4

        最小可測分壓(mbar)

        1x10-10

        1x10-14/1x10-10

        1x10-10

        1x10-14/1x10-10

        1x10-15/1x10-11

        最高工作壓力(mbar)

        1x10-4

        燈絲材質

        Ir/Y2O3

        工作溫度

        40℃

        最大分析溫度

        120℃

        250℃

        最大烘烤溫度(移除電子)

        250℃

        300℃

        連接法蘭

        DN40CF

        輸入電源

        DC24V ±10% 50W

        重量

        2.6

        2.84

        2.6

        2.84

        3.21

        3.21

        防護等級

        IP30

        串口通信

        RS232C/RS485

        分辨率

        M/DeltaM=1M(10%PH)

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