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        冷陰極皮拉尼復合真空計

        INFICON反磁控管皮拉尼復合真空計,MPG400 和 MPG401,測量范圍為 5 x 10-9 mbar 至大氣壓力(3.8 x 10-9 Torr 至大氣壓力)。將多項技術融入帶有一個對數模擬輸出信號的單個緊湊型裝置中,顯著降低了安裝、設置和集成的復雜性。

        特點

        復合真空計 – 冷陰極和皮拉尼

        5 X 10-9 mbar 至大氣壓的極寬測量范圍

        倒磁控管沒有燈絲,不會出現絲極燒毀的現象

        卓越的點火屬性

        易清洗

        FPM 或金屬密封饋入裝置

        LED 指示器,高壓時亮起

        對數模擬輸出信號

        應用

        高真空壓力測量

        蒸發與濺射鍍膜系統

        全真空范圍內的一般真空測量和控制

        技術規格

        型號
        密封
        MPG400
        FPM密封
        MPG401
        金屬密封
        測量范圍
        5 × 10E-9至1000 mabr
        精度(N2) 10E-8至100 mbar

        ≈±30%讀數
        重復性
        ≈±5%讀數
        輸出信號(電壓)

        0至+10.5V

        電源電壓
        功率
        +15至+30Vdc
        ≤2 W
        電氣連接件

        FCC 68/RJ45網口,8腳屏蔽
        工作溫度
        +5至+55℃
        安裝方位任何
        防護等級IP40

        訂購資料

        型號
        密封
        MPG400
        FPM密封
        MPG401
        金屬密封
        KF25351-010351-020
        KF40351-011351-021
        CF40351-012351-022
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