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        成都四洋科技有限公司官方網站

        壓力控制系統

        APC200與GPC3000壓流控制器基本上是為電容壓力計提供一個電源(±15VDC),與之相應的壓力信號連接顯示器,同時使用PID排氣節流閥節流閥或Self-Tuning功能將壓力控制連接起來的系統,其中,使用“Self-Tuning”功能,可根據流入室中氣體的量、泵抽速度、閥位中的真空壓力變化,以及其他重要的參數感知壓力控制系數。使用此功能作壓力控制時,可以更快地達到所需的壓力。內置2個過程限制繼電器,可幫助用戶集成在裝備中。

        特點

        至多可以連接4個MFC的PCB卡,每張PCB由2通道(2個MFC)組成。

        標準的面板安裝,通訊方式I/O或RS-232遠程(RS-485選項),實現所有遠程控制都是可能的。

        技術規格

        閥門操作

        ATV1000排氣節流閥,MKS型653和253排氣節流閥及其他

        壓力輸入信號

        標準0-10Vdc

        輸入功率要求

        90-132或180-264 VAC, 50/60 Hz

        設置點

        可編程的

        外部模擬

        總共5個,可在任何組合中編程,用于壓力或閥位置

        (可從前面板調節或從前面板旋轉RS232設定、TTL或RS232)

        0-10VDC

        控制器重復性

        ±0.1% F.S

        環境運行溫度

        15℃ - 45℃

        輸出功率

        ±15 VDC ±5% @ 1.5 Amp

        模擬量輸出信號

        0 - 10vdc用于0-100%閥門位置,0 - 10vdc用于1-100%滿量程壓力

        尺寸

        1/2機架安裝:88mm 寬 x 241mm 長 x 225 高

        顯示

        LCD(壓力、位置和外部設定點讀數)

        顯示單位

        Torr, mTorr, mbar, Pascal, cmH20, inH20, mbar, kpa 標準

        PID控制

        標準

        遠程零點

        標準

        接口

        前面板設置,模擬,TTL和RS232,(RS-485選項)

        繼電器輸出

        2個過程繼電器: 24 Volts AC/DC 0.5Amp 電阻

        遠程控制

        (打開、關閉、保持)

        標準

        位置控制能力

        標準

        ATV1000排氣節流閥

        ATV1000是用來調節真空腔體壓力的,可以控制大范圍的壓力。ATV1000是設計與GPC3000兼容使用的。

        ATV1000-B在閥內安裝了調節電導的板,和百葉窗形態一樣,與其他閥不同的排期節流閥,即使板是90度開啟,也不干涉腔體其他的部件,板可以自由動作。為了空間的一些適配管道與法蘭,都沒有必要安裝,整體上節省了真空裝備的體積和價格,并開發了大型尺寸的閥門。

        特點

        使用高速電機、大大縮短了位置點抵達的時間,提高設備的吞吐量而設計的。

        ATV1000可以與GPC3000控制器連接使用,其他公司產品的控制器也可以連接使用(如MKS)

        “節流閥”將擋板的位置在用戶外部也可以確認,即便閥的動作是否在裝備中脫離,可以確認。

        “節流閥”法蘭通常使用ISO-NW,但根據顧客的要求,也可以提供CF,ASA,JIS等法蘭。

        ATV1000-B優勢

                                                ATV1000-B閥門式樣


        技術規格

        閥門速度(開閉)

        1.5sec

        分辨率

        1/24000

        驅動方式

        PID單獨傳動

        閥體最高工作溫度

        標準:0-100℃

        可選:0-150℃

        閥工作環境溫度

        -20℃至40℃

        閥的壓差

        1atm(15psi)-最大

        泄漏率

        1x10-8sec/sec He

        暴露在工藝中的材料

        標準:304,Viton(密封材料可選)

        可選:316,Viton(密封材料可選,具體聯系工程師)

        兼容的控制器

        GPC3000,MKS 651 or 1651

        控制器輸出轉矩

        800 in-oz

        關閉-泄漏率

        (帶有O型圈的閥門)

        <10-7(Torr l/s)>

        ACM200電容薄膜真空計

        ACM200 電容薄膜壓力計,通常安裝在真空腔體或管道上,讀取實時壓力,±15VDC的電源和0 - 10VDC信號輸出的,廣泛用于半導體工程和真空工業設備。

        特點

        直接測量方式測量壓力

        無關氣體組分影響

        可應用于腐蝕性氣體環境,適合于各類制程應用

        可搭配Atovac儀表,實時顯示

        測量范圍從10E-4Torr至1000TOrr,覆蓋大多數制程壓力范圍

        技術規格

        壓力范圍(滿量程)

        1、2、10、100、1000

        最低壓力

        0.01%滿量程

        精度

        ±0.25%讀數

        可選:±0.15%讀數

        溫度效應

        零點

        跨度


        0.002% 滿量程/°C

        0.02% 讀數/°C

        工作環境溫度

        0℃至50℃

        暴露于氣體中的材料

        鉻鎳鐵合金

        泄漏率

        1x10-8sec/sec He

        最大壓力

        310Kpa

        電源要求

        ±15VDC (±5%) @ 35 mA

        輸出信號

        0 to +10VDC into ≥ 10K Ω load

        法蘭

        8 VCR, NW16KF

        質量流量控制器

        MFC是“質量流量控制器”的縮寫,氣瓶上出來的氣體,用戶有時所需的是一定流量的值。雖然每個制造廠商都有一些差距,但一般都采用SCCM(標準立方厘米/分鐘)。

        特點

        設計用于半導體制程和工業使用

        滿量程流量從5sccm至200slm

        1%滿量程的精度

        可搭配GMC1200儀表顯示,也可用于APC200、GPC3000等儀表組成壓力控制系統

        技術規格

        流量范圍(滿量程)

        AFC500/AFC600:5sccm至50slm

        AFC770:51至200slm

        最大進氣壓力

        150psig

        正常工作壓差(與在大氣壓,MFC出口)

        10至5000sccm

        10000至20000sccm

        AFC770


        10至40 psid

        15至40psid

        40至70psid

        精度(模擬量)

        (包括760Torr和0℃下的非線性、滯后和非重復性)

        ±1%滿量程

        重復性

        ±0.2%滿量程

        分辨率

        1%滿量程

        溫度系數

        零點

        跨度

        <0.05 % 滿量程./°C

        <0.05 % 滿量程.

        預熱時間(達到穩態性能的0.2%以內)

        <2分鐘

        控制器調節時間

        <2sec

        壓力系數

        <0.02 % of Rdg./psi

        工作溫度范圍

        0-50℃

        電源

        ±15 VDC (±5%)

        設定值命令信號

        0-5Vdc

        輸出信號

        0-5Vdc

        法蘭

        VCR, LOK

        接口

        9針D-sub

        材料

        316L,密封Viton(AFC600:Kalrez)

        外部泄漏完整性(scc/sec He)

        通過關閉閥門

        < 1×10(-9)

        <1.0%的F.S.,在40 psig的大氣入口(為確保無流量通過,建議使用單獨的正壓切斷閥。)

        壓強控制系統示意圖


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