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        成都四洋科技有限公司官方網站

        GMC1200流量/壓力控制器

        GMC1200流量壓力控制器是給MFC(質量流量控制器)提供電源(±15VDC),流量顯示,穩定的電壓設置點(0 ~ 5VDC),使MFC能夠準確地成為控制的裝置。也可以用電容壓力計代替MFC對壓力進行顯示。(0 - 10 VDC壓力信號),如果你添加上游壓力控制板作為選擇選項,則可以另加壓力控制模式,在連接各通道的MFC中,任意選擇想要的通道,用氣體的量可以自動控制想要的壓力,同時壓力也可以顯示。

        通過微處理器進行“控制”處理,而且還可以利用rs - 232接口進行“PC控制”操作。

        特點

        采用超高速微處理器。

        使用(±電壓顯示)16位雙A / D控制

        容易辨認的LCD顯示。

        流量或壓力的單位,用戶可以直接設置。

        2、4、6、8通道可選。

        您可以通過連接電容壓力計測定壓力。

        每個頻道的流量都可以控制。

        總流量累計功能

        使用MFC與電容壓力計,可選上游壓力控制

        技術規格

        尺寸
        寬*長*高 241mm*88mm*200mm
        電氣特性

        輸入功率
        195 ~ 265VAC @50/60 Hz 85VA (最大) - 默認
        98 ~ 135VAC @50/60 Hz 85VA可選
        熔斷器額定值
        250 VAC @3 A
        輸出功率
        +/-15VDC  ±5% @2.7A
        工作溫度
        0 ~ 50°c
        輸入信號
        0 ~ 5VDC for MFC
        0 ~ 10VDC for 電容式壓力計
        輸出信號
        0 ~ 5VDC for MFC 指令
        顯示窗口
        128*64 LCD顯示器
        顯示單位
        sccm, slm表示MFC, Torr表示CM
        接口
        RS - 232、TTL接口
        質量流量控制器

        MFC是“質量流量控制器”的縮寫,氣瓶上出來的氣體,用戶有時所需的是一定流量的值。雖然每個制造廠商都有一些差距,但一般都采用SCCM(標準立方厘米/分鐘)。

        特點

        設計用于半導體制程和工業使用

        滿量程流量從5sccm至200slm

        1%滿量程的精度

        可搭配GMC1200儀表顯示,也可用于APC200、GPC3000等儀表組成壓力控制系統

        技術規格

        流量范圍(滿量程)

        AFC500/AFC600:5sccm至50slm

        AFC770:51至200slm

        最大進氣壓力

        150psig

        正常工作壓差(與在大氣壓,MFC出口)

        10至5000sccm

        10000至20000sccm

        AFC770


        10至40 psid

        15至40psid

        40至70psid

        精度(模擬量)

        (包括760Torr和0℃下的非線性、滯后和非重復性)

        ±1%滿量程

        重復性

        ±0.2%滿量程

        分辨率

        1%滿量程

        溫度系數

        零點

        跨度

        <0.05 % 滿量程./°C

        <0.05 % 滿量程.

        預熱時間(達到穩態性能的0.2%以內)

        <2分鐘

        控制器調節時間

        <2sec

        壓力系數

        <0.02 % of Rdg./psi

        工作溫度范圍

        0-50℃

        電源

        ±15 VDC (±5%)

        設定值命令信號

        0-5Vdc

        輸出信號

        0-5Vdc

        法蘭

        VCR, LOK

        接口

        9針D-sub

        材料

        316L,密封Viton(AFC600:Kalrez)

        外部泄漏完整性(scc/sec He)

        通過關閉閥門

        < 1×10(-9)

        <1.0%的F.S.,在40 psig的大氣入口(為確保無流量通過,建議使用單獨的正壓切斷閥。)

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