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        ELD500氦質譜檢漏儀

        Edwards新型ELD500全自動氦質譜檢漏儀已經上市。是為在廣泛的應用中快速、準確地檢測泄漏而設計的,并且是完全可移動的;易于使用的控制界面。EdwardsELD500是您在泄漏檢測方面的明智選擇。

        特點

        性價比高

        移動解決方案

        可定制的任何應用程序

        高穩定性和準確性

        應用

        分析儀器:電子顯微鏡、泄漏檢測、質譜、表面分析

        半導體:負載鎖定、過程、計量、光刻技術、PVD、等離子體刻蝕、CVD、平板顯示器、LED

        研究和開發:空間模擬、低溫研究、納米技術、涂層系統

        工業:工業泄漏檢測、電子束焊接、燈管制造、玻璃涂料、剎車線和空調、制冷系統制造商、熱處理、電源、真空爐

        高能物理:束線、加速器、融合、激光疏散

        技術規格

        類型

        WET

        DRY

        FLEX

        可檢測的氦泄漏率mbar.L/s

        真空操作

        ≤ 5 x 10-12

        ≤ 3 x 10-11

        ≤ 5 x 10-12(配泵)

        吸槍操作

        ≤ 7x10-9

        最大可測氦泄漏率
        mbar.L/s
        (真空操作)

        >0.1

        檢測范圍

        12個數量級

        最大允許進口壓力

        15mbar

        泵送速度50hz / 60hz

        2.5/3 m3/h

        1.6/1.8 m3/h

        N/A

        在精細模式下的氦抽運速度

        3.1L/s

        泄漏率信號的時間常數

        <1s

        啟動時間

        ≤2min

        功率

        420VA

        350VA

        200VA

        入口法蘭

        NW25

        尺寸mm

        495x456x314

        重量

        40Kg

        35.5Kg

        30Kg

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