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        成都四洋科技有限公司官方網站

        機械增壓泵

        EH250

        EH500

        EH1200

        EH2600

        EH4200

        Edwards EH 機械增壓泵采用獨特的液力驅動,可實現高效的動力傳送,在經濟性、性能和緊湊性方面擁有優勢。這些增壓泵適用于高壓力差的場合,這種高壓力差使增壓泵可以與前級泵同時啟動,從而減少總體抽氣時間。

        EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎,仍是非常受歡迎的泵,可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

        機械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下,因此高度可靠。

        特點

        適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3/h的高抽速的應用場合。

        它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。

        EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供:

        安靜的無振動運行。

        牢靠且防腐蝕。

        先進的軸封技術,處理艙中不會出現油污染

        防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。

        經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護要求降到最低。

        軸封的設計經過優化,可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要最高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。

        動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小,而這些特點正是先進技術設備的制造商所需要的。

        應用

        半導體制程

        真空蒸餾

        真空包裝

        鋼脫氣

        薄膜覆層

        真空冶金

        低密度風洞

        空間模擬

        真空浸漬

        油干燥和脫氣

        制藥冷凍干燥

        CO2 激光

        技術規格

        型號
        EH250
        EH500
        EH1200
        EH2600
        EH4200
        抽氣量m3/h
        50Hz
        310
        505
        1195
        2590
        4140
        60Hz
        375
        605
        1435
        3110
        4985
        前級泵有效泵速m3/h
        E2M40
        240
        350
        840


        E2M80
        274
        400
        840


        E2M175

        440
        930
        1750

        E2M275

        460
        1020
        1900
        3100
        泵上的壓差mbar
        50Hz
        0-180
        0-110
        0-90
        0-120
        0-70
        60Hz
        0-150
        0-90
        0-75
        0-67
        0-50
        進出口法蘭
        ISO63/ISO40
        ISO100/ISO63
        ISO160/ISO100
        ISO160/ISO100
        ISO250/ISO100
        轉速rpm
        50Hz

        0-2900

        60Hz

        0-3500

        額定連續進口壓力

        0-1000mbar

        最大出口壓力

        1000mbar

        建議支持泵
        GV80,
        E2M40,
        E2M80
        GV80, E2M80
        GXS160,
        GXS250,
        E2M80,
        E2M175
        GXS250,
        GXS450,
        E2M175,
        E2M275
        GXS450,
        E2M275
        電源電壓,3-ph

        220-240V / 380-415V

        電機功率Kw
        碳氫油

        2.2

        3

        11

        PFPE
        ATEX
        防爆電機

        3

        4

        15

        溫度℃
        工作溫度

        5至40

        環境存儲溫度

        -10至80

        濕度

        90%RH

        冷卻方式

        空冷

        水冷

        建議用油
        標準

        Ultragrade 20

        PFPE

        Fomblin YVAC 16/6

        油量L
        齒輪箱


        1.25

        3.5

        耦合面

        1.5

        2.4

        6.5

        軸封油層

        0.125

        1.5

        重量Kg

        69

        106

        149

        345

        481

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