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        干式真空泵

        Osaka干式螺桿真空泵,完全無油運作,適用于大多數潔凈制程;體積小以及操作簡單。

        特點

        排氣速度:50L?min、230L?min、500L?min 3種產品

        極限壓力:DSP50:20Pa、DSP250 ? 500:0.5Pa

        潔凈排氣:沒有油蒸氣,粒子的逆流

        無潤滑油:無同步齒輪,也不需要潤滑油

        攜帶方便:小型,輕量,抗外部干擾

        空冷規格

        初期排氣時間短,大氣壓附近排氣速度快

        低消費電力設計

        應用

        SEM,光刻

        醫療設備

        裝載室,搬送室排氣

        分析儀器

        加速器,離子源,電子槍的排氣

        一般產業

        PVD或R&D

        技術規格

        型號DSP50DSP250DSP500
        排氣速度(L/min)最大50230500
        氣鎮開啟36200430
        極限壓力(Pa)通常200.5
        氣鎮開啟時2002
        法蘭連接進氣口KF16KF25KF40
        排氣口RC1KF25
        電源電壓(V)100-240100-230
        頻率(Hz)50/60
        相數單相
        容許電壓精度±10%
        功率(W)極限壓力時230240270
        最大380600
        冷卻方式空冷
        重量(Kg)91520
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