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        成都四洋科技有限公司官方網站

        高精度電容薄膜真空計

        INFICON CDG025D電容膜片真空計是高精度溫度補償型真空計設計用于在嚴酷的制造工具環境中具有穩定的性能. 先進的數字電子學提高真空計的性能和提供容易操作的特點如一鍵調零的功能和設點調整. 抗腐蝕的超純陶瓷傳感器提供卓越的零點穩定性, 以及引起能達到數百萬次壓力循環包括大氣沖擊的長的使用壽命.獨特的傳感器屏蔽保護真空計防止過程污染. 經久耐用的機械結構和數字電子學提高EMC兼容性, 長期穩定性和溫度補償能力。

        特點

        滿量程范圍從0.1乇至1000乇

        通電后快速穩定性

        暴露大氣壓的快速恢復性

        抗腐蝕的陶瓷傳感器

        優秀的長期信號穩定性

        溫度補償

        傳感器有防污染保護

        一鍵調零功能

        寬范圍電源

        兩個設點 (可選)

        RS232 接口 (可選)

        應用

        半導體制造設備用于刻蝕, CVD, PVD, ALD

        數據存儲和OLED,LCD制造設備

        工業真空設備

        混氣實驗設備

        一般高精度壓力測量

        技術規格(基于Torr的標準產品)

        滿量程范圍(Torr)
        1000
        1001010.1
        精度
        ( 在25°C環境工作溫度下運行兩小時后無非線性,滯后性,再現性的溫度效應)
        0.2%讀數0.5%讀數
        溫度效應
        在零點
        在滿量程

        0.005%滿量程/℃
        0.01%讀數/℃

        0.015%滿量程/℃
        0.01%讀數/℃

        0.02%滿量程/℃
        0.02讀數/℃
        分辨率0.003%滿量程
        最大壓強(絕對壓力)400Kpa260Kpa130Kpa
        響應時間30ms130ms
        最低壓強讀值0.01%滿量程
        最低建議壓強0.05%滿量程
        最低建議控制
        壓強(排氣節流閥聯控時)
        0.5%滿量程
        電源電壓
        功率
        +14至+30Vdc
        ≤1 W
        輸出信號0至+10V模擬量
        電氣連接件
        D-sub 15針
        工作溫度
        +5至+50℃
        烘烤溫度≤110℃法蘭處(未運行)
        安裝方位垂直
        水平(要求)
        防護等級IP30

        1.其它滿量程請咨詢

        2.設定點繼電器,RS232C僅CDG025D-S

        訂購資料

        CDG025D,溫度補償型


        滿量程范圍1/2"英寸管DN 16 ISO-KFDN 16 CF-R
        8VCR
        1000Torr375-000375-001
        375-002
        375-003
        100Torr376-000376-001
        376-002
        376-003
        10Torr377-000377-001
        377-002
        377-003
        1Torr378-000378-001
        378-002
        378-003
        0.1Torrr379-000379-001
        379-002
        379-003

        CDG025D-S,2個設定點,RS232接口,溫度補償型


        滿量程范圍1/2"英寸管DN 16 ISO-KFDN 16 CF-R
        8VCR
        1000Torr
        133KPa1333mbar375-300375-301
        375-302
        375-303

        110Kpa
        1100mbar375-500375-501
        375-502
        375-503
        200Torr26.6Kpa267mbar382-300382-301
        382-302
        382-303
        100Torr
        13Kpa133mbar376-300376-301
        376-302
        376-303

        10Kpa100mbar376-500
        376-501
        376-502
        376-503
        20Torr2.66Kpa26.7mbar383-300
        383-301
        383-302
        383-303
        10Torr
        1.3Kpa13mbar377-300377-301
        377-302
        377-303

        1Kpa10mbar377-500
        377-501
        377-502
        377-503
        1Torr
        133Pa1.3mbar378-300378-301
        378-302
        378-303

        100Pa1mbar378-500
        378-501
        378-502
        378-503
        0.25Torr33.3Pa0.33mbar385-300
        385-301
        385-302
        385-303
        0.1Torrr
        13.3Pa0.13mbar379-300379-301
        379-302
        379-303

        10Pa0.1mbar379-500
        379-501
        379-502
        379-503
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