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        BAG302離子真空計

        INFICON  Bayard-Alpert 熱電離真空計 BAG302 涵蓋從 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar(1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr)的廣泛測量范圍。緊湊型一體化熱電離真空計 BAG302 能夠輕松地更換雙燈絲傳感器、內置 OLED 顯示器、設定點繼電器和對數線性模擬輸出以及集成 RS485 數字接口,提高了集成靈活性。這些功能配以堅固的設計,使 BAG302 為其自身的基本壓力測量儀器帶來經濟且可重復的過程,并提供高價值、低擁有成本的選擇。

        特點

        測量范圍從 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar(1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr)

        雙標準長使用壽命氧化釔銥絲

        一體式主動測量儀,內置顯示器、設定點、模擬輸出和標準集成式 RS485 數字接口

        帶鍵盤的明亮的數字 OLED 顯示屏,簡化設置、操作和編程

        用戶可編程的設定點繼電器

        用戶可編程的顯示器單位:mbar、Torr 或 Pa

        用戶可選的發射電流自動設換范圍

        機械強度和堅固性

        各種法蘭的選擇

        易于更換的傳感元件

        合規和標準:CE、RoHS

        應用

        對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量

        工業鍍膜

        低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制

        技術規格

        測量范圍

        1*10﹣9至5*10-2Torr/1.3*10-9至6.7*10-2mbar/1.3*10-7至6.7Pa

        精度

        10-8至5*10-2Torr ±15%讀數

        重復性

        ±5%讀數

        顯示

        OLED,3位數+1位指數,Torr,mbar,Pa單位可選

        X-射線極限

        5*10-10Torr

        發射電流

        100Μa,4mA或自由切換之間

        除氣

        3W,EB

        烘烤溫度

        200℃,僅規管

        安裝方式

        任意

        重量

        270g

        數字接口

        RS485-ASCII協議

        信號輸出

        線性模擬量0-9V

        設定繼電器

        1個設定點繼電器,1W,30A直流或交流無感電阻

        電源

        20-28Vdc,30W,防止反轉保護和瞬態過電壓。

        燈絲

        雙氧化釔涂銥絲或雙鎢絲

        電氣接口

        9 Pin D-Sub模擬和9Pin D-sub RS485

        認證

        符合CE標準

        環境認證

        符合RoHs標準

        訂購資料


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